Grundkonzept:

  • F & E Projekte auf den Gebieten der Analytik und Qualitätssicherung, mit den Schwer-punkten Materialien und Bauelemente der Elektronik, dünne Schichten, Oberflächen sowie Mikro- und Nanostrukturen
  • Dienstleistungsangebote
  • Weiterbildung

Themengebiete:

Analytik: Mikro-, Nano- und Oberflächenanalytik, Raster-Sonden-Mikroskopie , Raster-Elektronen-Mikroskopie & STEM, Gefüge- und Strukturanalytik (EBSD), Röntgenanalytik (EDX, WDX), Mikro-Röntgenfluoreszenz (μ-XRF), wellenlängen-dispersive Röntgen­fluoreszenz, FT-Infrarotspektroskopie, , Probenpräparation & Ionenstrahlbehandlung, kombinierte mechanische, magnetische, elektrische, thermische und chemische Mikro-Charakterisierung, makroskopische thermische Charakterisierung, Dünnschichtanalytik, Koordinaten Messtechnik

QS: IC Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsanalytik, Halbleiter-Waferleveltests (bis 300mm Wafer), Entwicklung und Durchführung von IC Stress- und Testverfahren, Lebensdauerprojektionen, Fehler- und Ausfallanalytik, Halbleitermesstechnik, Lock-In-Verstärker-Messtechnik

Weitere Informationen finden Sie auf der Seite des Instituts IQMA (Seite befindet sich gerade im Aufbau)


Sprecher
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Beteiligte Professoren
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Standorte
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Beteiligte Fakultäten
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