Professoren der Fakultät NuW

Leitung Arbeitsgruppe Messtechnik

Deggendorf L 204

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Teisnach T 102

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PUBLIKATIONEN

Forschungsprofessur
Produktionstechnik / Messtechnik / Berechnung optischer Systeme und Komponenten

• DUV- und VUV Optik
• Interferenzlithographie
• Messunsicherheitsbudget und Fehlerkompensationsalgorithmen
• Optik Simulation
• Spektroskopie
• Volumengitter
• Winkelmesstechnik und Autokollimatoren-Entwicklung