benstetter-guenther

Member of the Senate
Course of Studies Dean Faculty of Electrical Engineering and Media Technology

  • Microelectronics and Microsystems Technology
  • Electronic components
  • Material Sciences and Applied Solid-state Physics

PUBLICATIONS

 E 208

+49 (0)991 3615-513

+49 (0)991 3615-297

Kernkompetenzen

  • Mikro- Nano- und OberflächenanalytikRaster-Sonden-Mikroskopie
  • Raster-Elektronen-Mikroskopie & STEM
  • Gefüge- und Strukturanalytik (EBSD)
  • Röntgenanalytik (EDX, WDX)
  • Mikro-Röntgenfluoreszenz (μ-XRF)
  • FT-Infrarotspektroskopie
  • IC Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsanalytik
  • Fehler- und Ausfallanalytik
  • Halbleitermesstechnik
  • Dünne Schichten

Forschung & Beratung

Forschungsgruppe: Micro- und Nanoananlytik

Akademischer Werdegang

  • Berufung: Prof. Hochschule Deggendorf 1998
  • Promotion: Dr.-Ing., TU München 1994
  • Studienabschluss: Dipl.-Ing. Elektrotechnik 1989

Beruflicher Werdegang

1989-1994: Wissenschaftlicher Assistent, TU München

1994-1995: Entwicklungsingenieur Siemens HL; DRAM – Projekt in Burlington, VT, USA

1995-1998: Leiter Fehleranalyse IBM/Siemens/Toshiba

seit 1998: Professor an der Hochschule Deggendorf Fakultät Elektrotechnik Medientech- nik Laborleiter für die Labore Elektronische Bauelemente, Mikroelektronik, Raster- Kraft- Mikroskopie und Oberflächenanalytik

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